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N型冷凝泵

产品详情

产品介绍:
      N型冷凝泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵,又称冷凝泵。冷凝泵是获得清洁真空的极限压力低、抽气速率的真空泵,广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产,以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。因其洁净无污染、效率高、抽速大、高可靠性等突出优势,被广泛的应用于科学研究实验室、乃至工业生产等众多领域,如半导体材料制作、平板显示器生产/测试设备、太阳能制造业、真空镀膜、热真空系统等。

冷凝泵工作部分:
      单级:主要件有硅黄铜80-3铸成的叶轮通过键固定由45号优质碳素制成的轴上,叶轮装在由耐磨铸铁HT20-40铸成的泵体、泵盖所构成的泵工作室内,动力机通过联轴器带动支在轴承中的轴和叶轮,泵就工作,耐磨铸铁HT20-40制成的轴套,与衬套(6N6和4N6X2)之间有着水润滑的滑动轴承的作用,泵体后的填料函内装有填料环,及填料油浸石墨石棉绳,开口填料压盖,借助加长双头螺栓压紧填料,并可调整松紧,外部引入高于大气压的密封水,通过接管对准填料环,并在整个填料函内就形成隔绝空气侵入泵内的密封腔,同时阻止泵内水向外流,仅有少量的润滑水滴出。在叶轮上开有平衡孔,使高压区与进口低压区沟通从而消除轴向推力,为了防止磨损泵体和泵盖,于修理,达到良好密封,在泵体、泵盖上装有密封环,泵体上部备有丝孔做为放气用,停车检修时,泵中之水从丝孔放出,为了方便泵体和泵盖的拆卸备有起盖螺钉(盖、体通用)进出口均备有测压孔。
      两级:其余与单级相同,仅泵盖、泵体和中间导叶构成两个工作室,在两室内相应装有硅黄铜80-3铸成的第一级叶轮和铸铁HT20-40CuMo制成的叶轮。

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